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发布日期:2021年05月08日

SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源

SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源

规格参数

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SSIII系列直流脉冲磁控溅射电源技术规格

SS III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,适用反应溅射膜层。

电源功率范围

6-120kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

脉冲

脉冲宽度

10-90%

输出电压

空载1000V[峰值电压]

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤3μs

输出稳定率

0.5%

冷却方式

6-12kW风冷 20-120kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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